（1）成果簡介
光譜分析儀器作為常用的科學(xué)儀器之一，具有功能齊全、操作簡便、快速分析等優(yōu)點，已經(jīng)發(fā)展成為諸多領(lǐng)域的理想檢測設(shè)備。本成果研制了三光柵羅蘭圓結(jié)構(gòu)、光譜范圍覆蓋遠(yuǎn)紫外波段130 nm到長波780 nm的高分辨光譜儀，并匹配特定的激光光源形成一套能夠應(yīng)用在稀土領(lǐng)域的在線檢測設(shè)備。攻克了三光柵光路結(jié)構(gòu)設(shè)計、遠(yuǎn)紫外光譜高靈敏度探測、稀土工藝中關(guān)鍵元素快速檢測方法等關(guān)鍵難題，在“關(guān)鍵部件研制”、“實驗裝置搭建”、“分析方法開發(fā)”等關(guān)鍵核心技術(shù)方面擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。在國內(nèi)高分辨光譜檢測領(lǐng)域，實現(xiàn)了國內(nèi)多光柵寬波段高分辨光譜技術(shù)的突破，可適用于若干重點行業(yè)的元素快速分析。該成果成功突破國外技術(shù)壟斷，解決了“卡脖子”問題，關(guān)鍵模塊實現(xiàn)國產(chǎn)化研發(fā)，形成了國內(nèi)首臺套國產(chǎn)化樣機(jī)，保證國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈安全。
（2）主要性能指標(biāo)及適用條件范圍
適用于覆蓋遠(yuǎn)紫外波段130nm到長波780nm的光譜探測，并可匹配不同的激發(fā)光源，適用于鹵素元素和稀土元素的高精度分析。
（3）成果應(yīng)用情況
多光柵寬波段高分辨光譜儀匹配LIBS激光光源，實驗裝置分別在鋼研納克檢測技術(shù)股份有限公司和中稀(北京)稀土研究院有限公司開展示范應(yīng)用。此外，本成果聚焦產(chǎn)業(yè)鏈安全的核心痛點，開展了一系列深入且卓有成效的攻關(guān)行動，取得了多維度的顯著成果，為維護(hù)產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定與自主可控筑牢了堅實根基。實現(xiàn)進(jìn)口儀器的技術(shù)國產(chǎn)化，對于提高國家科技水平、保證產(chǎn)業(yè)鏈安全、推動經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重要意義。本項目在儀器國產(chǎn)化研發(fā)方面，通過自主研發(fā)和創(chuàng)新，將原本依賴進(jìn)口的核心技術(shù)產(chǎn)品全部轉(zhuǎn)化為國產(chǎn)化的技術(shù)產(chǎn)物(紫外芯片除外)。積極推動供應(yīng)鏈的多元化建設(shè)，通過前期的精細(xì)設(shè)計及長期調(diào)研，成功引入了多個優(yōu)質(zhì)的國產(chǎn)原材料和國產(chǎn)零部件供應(yīng)商，并成功通過國產(chǎn)化集成設(shè)計將各國產(chǎn)關(guān)鍵部件進(jìn)行技術(shù)集成。與傳統(tǒng)依賴進(jìn)口供應(yīng)商模式不同，保障了國產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈的正常運轉(zhuǎn)。
（4）成果展示
圖1 儀器外觀（正視） 圖2 儀器外觀（側(cè)視）
圖3 光室內(nèi)部 圖4 光室外觀